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我國(guó)首條光刻用石英玻璃基板成套生產(chǎn)線建成
來(lái)源：中國(guó)建筑材料科學(xué)研究總院 發(fā)布時(shí)間：2016-06-12基地-拋光車(chē)間-640.jpg)
近日，中國(guó)建材總院石英院基于光刻用石英玻璃基板綠色制造技術(shù)，在衢州建立了國(guó)內(nèi)首條從基板原材料制造到產(chǎn)品加工的成套生產(chǎn)線。該生產(chǎn)線可年產(chǎn)20000片4-6英寸石英玻璃基板，打破了石英玻璃基板原材料及產(chǎn)品長(zhǎng)期依賴進(jìn)口的局面。
該生產(chǎn)線的建立，是中國(guó)建材總院承擔(dān)的“十二五”國(guó)家科技支撐計(jì)劃“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特種材料關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)及示范”課題的成果之一。石英玻璃基板是集成電路芯片制造工藝中的核心器件，市場(chǎng)需求量巨大。作為石英玻璃基板的原材料，合成石英玻璃具有熱穩(wěn)定性好、光學(xué)均勻性高、耐輻照等諸多優(yōu)點(diǎn)。然而，受原材料純度、均勻性及加工精度、硬脆特性等制約，我國(guó)石英玻璃基板長(zhǎng)期依賴進(jìn)口。
作為我國(guó)唯一專業(yè)從事石英玻璃研究的科研院所，中國(guó)建材總院石英院依托浙江衢州高新園區(qū)的化工資源，形成了循環(huán)經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)鏈，建立了高性能石英玻璃研發(fā)基地，并成立中建材衢州金格蘭石英有限公司。經(jīng)科研人員不懈努力，形成一套符合我國(guó)行業(yè)現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢(shì)的獨(dú)有工藝路線，不但解決了石英玻璃基板原材料的純度、均勻性難題，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了原材料綠色制造。石英院還引入多刀切割、安全快速磨拋工藝，創(chuàng)造性地開(kāi)發(fā)了熔拉制坯、數(shù)控倒角等技術(shù)，解決了石英玻璃基板加工精度的難題。從基板原材料制造到產(chǎn)品加工，石英院形成專利20余項(xiàng)，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、國(guó)軍標(biāo)及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)10余項(xiàng)，開(kāi)發(fā)出了多種規(guī)格的石英玻璃基板、晶圓、透鏡等系列產(chǎn)品，不僅逐步替代進(jìn)口，實(shí)現(xiàn)了集成電路等用高性能石英玻璃關(guān)鍵材料及制品的國(guó)產(chǎn)化，而且出口歐洲、日本等國(guó)。
